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硅基压电多层膜悬臂梁的偏转模型和优化设计
利用压电多层膜悬臂梁的形变曲率半径,导出了简洁的压电悬臂梁型微执行器的偏转模型.采用此模型,对硅基PZT压电悬臂梁型微执行器进行......
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MEMS
压电多层膜
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